한솔아이원스, 반도체 사업 글로벌 확장 교두보

  

지난 1월 한솔그룹의 가족이 된 아이원스는 브랜드 가치 강화를 위해 8월 한솔아이원스로 상호를 변경했습니다. 한솔테크닉스가 인수한 한솔아이원스는 반도체 장비용 부품 제조 및 코팅, 세정 등을 영위하고 있는 업체로, 반도체 핵심 재료인 웨이퍼 가공에 필요한 체임버 등을 국산화한 국내 소재·부품·장비업계 대표 기업입니다. 

 

초정밀 부품의 설계부터 가공, 측정, 세정, 코팅 및 분석까지 원스톱으로 수행할 수 있는 전문성과 신소재 개발 및 나노 코팅, 표면 처리 기술 등 초정밀 부품들을 생산하는 데 필요한 후처리 기술들을 보유하고 있습니다.

 

 

반도체 및 디스플레이 초정밀 부품 가공 기업
세정, 코팅 분야에서 글로벌 수준의 경쟁력 보유


 

PM Chamber 등 반도체 초정밀 부품 3천여 종 공급

한솔아이원스가 생산, 코팅, 세정해서 반도체 및 디스플레이 생산 기업에 공급하는 초정밀 부품만 챔버, 라이너, 샤워헤드, 플레이트 등 3천여 종 이상입니다. 한솔아이원스의 대표 제품인 PM Chamber는 반도체 생산의 전 공정에 사용되는 부품입니다.

 

종류에 따라 반도체 공정 맨 처음 웨이퍼를 올려놓는 Load-Lock Chamber, 웨이퍼 이송 역할을 하는 Transfer Chamber, 웨이퍼 생산을 위한 공정이 이루어지는 Process Chamber가 있습니다. Shower Head는 증착 공정에서 사용되며 증착을 위한 가스를 분사해주는 중요한 역할을 합니다.

 

반도체는 웨이퍼에 얇은 산화막을 입히는 산화 공정, 산화막을 입힌 웨이퍼 위에 회로를 그리는 포토 공정, 표면에 그린 회로를 제외한 나머지 부분을 제거하는 식각 공정, 웨이퍼 위에 회로를 보호하는 박막을 입히는 증착 공정, 반도체 회로에 전기적 신호가 잘 전달되도록 금속선을 연결하는 금속 배선공정, 목표로 한 품질 수준에 도달했는지 확인하는 테스트 마지막 단계인 패키징까지 크게 여덟 가지 공정으로 이루어집니다. 

 

여덟 개 공정 모두에 한솔아이원스의 부품과 기술이 들어가고 있습니다. 그중에서도 식각, 증착, 금속 배선 공정 장비를 구성하는 부품 생산이 한솔아이원스의 주력 제품입니다.

 

높은 강도를 자랑하는 코팅 기술

만들어진 부품은 반도체 생산 과정에서 수회의 반복 공정 높은 전압 등의 환경을 견디며 재기능을 할 수 있도록 코팅을 하는 것이 중요합니다. 반도체 부품에 코팅액을 도포해서 부품의 표면을 강하게 만드는 공정으로 초정밀 코팅 기술을 통해 부품의 수명을 연장하고 반도체 생산성을 향상시킵니다.

 

생산된 부품 중 코팅이 필요한 제품은 발안 제2사업장에서 한솔아이원스만의 코팅 기술로 코팅됩니다. 한솔아이원스의 코팅제는 강한 외부 자극에도 끄떡없는 높은 강도를 자랑합니다. 또한 한솔아이원스는 다양한 고유 코팅 기술을 보유하고 있습니다.

 

한솔아이원스의 코팅 기술은 반도체 공정 장비 부품의 내구성을 향상해 수명을 연장하고 부품 교체 비용을 절감시킬 뿐 아니라 반도체 공정이 점차 미세화 됨에 따라 공정 중 발생되는 파티클로 인한 불량 발생률을 획기적으로 절감할 수 있다는 장점도 가지고 있습니다.

 

 

  

반영구적으로 사용하게 하는 세정기술

한솔아이원스의 또 다른 대표 기술은 반도체 생산 설비 부품 세정입니다. 반도체 제조 공정 중에 오염물질이나 파티클이 발생하면 이것이 반도체 부품에 증착됩니다. 그렇게 되면 반도체 생산이 원활하지 않고 수율이 떨어지기 때문에 오염된 부품을 수거해서 반영구적으로 사용할 수 있도록 한솔아이원스의 기술로 깨끗하게 세정하고 있습니다.

 

덮개가 앉았던 부품이 새것처럼 깨끗하게 닦입니다. 다양한 소재 및 표면 상태에 따른 맞춤 분석 장비 등을 이용한 잔류 이온 파티클 검증을 통해 보다 높은 신뢰성을 확보할 수 있다는 점이 타 업체 대비 한솔아이원스의 강점입니다.

 

 

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한솔아이원스는 이렇게 특화된 기술을 바탕으로 반도체 장비 세계 1위 기업인 어플라이드 머티어리얼즈(Applied Materials)와 우리나라 최고의 반도체 제조 기업인 삼성전자, LG 디스플레이 등 유수의 기업에 제품을 공급하고 있습니다. 1993년 설립 이래 반도체 및 디스플레이 초정밀 부품 국산화 가공 사업으로 끊임없는 기술 개발과 지속적인 성장을 해온 한솔아이원스의 더 큰 발전을 기대해 봅니다.